ONLINE TOOL #01
EDS 特性X線スペクトルライン可視化ツール
SEM-EDS / EDX Characteristic X-ray Line Reference
SEM-EDS（エネルギー分散型X線分光法）による定性分析の参考ツールです。周期表から元素を選択すると、Kα、Kβ、Lα、Lβ、M系列の特性X線ラインを同時に表示し、複数元素のピーク位置や近接関係を視覚的に比較できます。
材料プリセット:
Periodic Table of Elements / 元素周期表
（複数選択可。元素をクリックして追加／解除）
元素分類:
アルカリ金属
アルカリ土類金属
遷移金属
ポスト遷移金属
半金属 (Metalloid)
非金属
ランタノイド
アクチノイド
※ グレー表示の元素（H、He など）は、一般的なEDS測定範囲で利用可能な特性X線がありません
SELECTED ELEMENTS（選択中の元素）:
0
スペクトル系列:
元素が選択されていません。上の周期表から比較する元素を選択してください。
RANGE:
TAKUMI EDS REFERENCE v1.0
WHEEL: ZOOM | DRAG: PAN
マウス操作: ホイールでズーム (Wheel Zoom)
ドラッグ: 横方向に移動 (Drag Pan)
ホバー: スペクトル線情報を表示 (Hover Tooltip)
選択元素の近接スペクトル線・潜在的重なり (Line Proximity & Potential Overlaps)
2元素以上を選択すると、エネルギー差が小さい（≤ 80 eV）スペクトル線の組合せを自動検出し、ピーク重なりの確認を補助します（例: S Kα と Mo Lα、Pb Mα など）。
EDS 元素定性・スペクトル線比較 技術ガイド (Technical Guide & References)
過電圧比（Overvoltage Ratio）と入射電圧の選択目安：
目的元素の特性X線を十分に励起するには、入射電圧（Landing Voltage）に対応する入射電子エネルギー E0 を、その元素の臨界励起エネルギー Ec より十分高く設定する必要があります。通常のSEMでは加速電圧と入射電圧は同等ですが、減速法や試料バイアス使用時には区別されます。過電圧比 U は U = E0 / Ec ≥ 1.5～2 を一つの目安とします。例えば Fe の K 殻臨界励起エネルギーは約 7.11 keV であるため、Fe K 線を十分に励起する目的では、入射電圧 15 kV 程度以上が一つの目安になります。軽元素（C、N、O）の分析では、励起領域を抑えて表面感度を高める目的で、入射電圧 5～10 kV を用いる場合があります。
標準データの出典・参考文献：
- NIST Standard Reference Database 128 (X-ray Transition Energies)
- J.A. Bearden, "X-Ray Wavelengths", Rev. Mod. Phys. 39, 78 (1967)
- JEOL「走査電子顕微鏡 基本用語集」（入射電圧、侵入深さ、特性X線 (EDS)）
- Kaye & Laby Tables of Physical and Chemical Constants (NPL)