分析ツール
材料分析の理解を助ける、匠析のリファレンスツール。
SEM-EDSを中心とした材料分析の理解を補助する、匠析株式会社のオンラインリファレンスツールです。 特性X線エネルギー・スペクトル線の比較や、入射電圧（Landing Voltage）に応じた電子侵入深さ・特性X線の発生領域の参考計算など、実務で活用しやすい機能を提供しています。
公開中のツール
EDS 特性X線スペクトルライン可視化ツール
元素を複数選択し、Kα・Kβ・Lα・Lβ・M系列などの特性X線エネルギーを同一グラフ上で比較できます。 実測EDSスペクトルのピーク位置確認や、近接するスペクトル線の視覚的比較に利用できます。
EDX 分析深さシミュレーター
入射電圧（Landing Voltage）、試料材料、分析対象元素・特性X線を設定し、 Kanaya–Okayama 式による電子侵入深さと Anderson–Hasler 式による特性X線の発生領域を 参考計算・可視化できます。
ご利用にあたって
本ページで公開するツールは、材料分析およびEDSスペクトルの理解を補助するための参考ツールです。 実際の分析結果は、装置条件、検出器特性、試料状態、入射電圧（Landing Voltage）、試料組成などの影響を受けます。 元素同定・定量分析・電子侵入深さ・特性X線発生領域等の最終判断は、実測データおよび測定条件を踏まえて行ってください。